목록 SEM SEM 부가 악세서리 Description · Ion Miller (EFM-10 / ECM-10) · Ion Coater · Glove Box 제품 문의하기 카탈로그 보기 제품소개 규격표 주문정보표 본문 Ion MillerSEM을 위한 고품질 샘플을 준비하고 고효율플랫 밀링과 터치스크린 컨트롤(10인치)로사용하기 용이하고 아르곤 이온을 사용하는테이블 탑용 SEM 부가 악세사리이며종류는 EFM-10과 ECM-10이 있습니다.⊙ EFM-10 모델 이온 밀러 가속 전압 0 ~ 7.5kV 빔 직경 약 500μm 플랫 앵글 20 최대 표본 크기 025 x H25mm(표준) / 032 x H25mm(옵션) 스윙 각도 오른쪽 : 360℃ 밀링용 가스 아르곤(99.999%) 진공 펌프 터보 분자 펌프, 로터리 펌프치수 및 무게 600(폭) x 600(길이) x 440(높이) mm/ 60kg전원 공급 장치 AC 220V, 50 또는 60Hz(450W) 작동 압력 7.0 x 10-4Torr (채머 내)압축 공기 3 - 5 MPa(셔터용) 습기 70% 이하 ⊙ ECM-10 범주 내용물 가속 전압 0 ~ 7.5kV 빔 직경 약 500μm 밀링 속도 약 300pm/h (7.5kV, si) 최대 표본 크기 20(W) x 18(H) x 4(D) mm, (최대 두께 4mm) 무대 이동 범위 X : 15mm, Y : 10mm, 스윙 : 0 ~ 20º 밀링용 가스 아르곤(99.999%)진공 펌프 터보 분자 펌프, 로터리 펌프 치수 및 무게 600(폭) x 600(길이) x 440(높이) mm / 60kg전원 공급 장치 AC 220V, 50 또는 60Hz(450W) 작동 압력 7.0 x 10-4Torr (챔버 내)압축 공기 3 - 5MPa (셔터용) 습기 70% 이하 Ion Coater⊙ 대면적 샘플도 균일하고 빠르게 코팅 가능⊙ LED 표시등을 통한 즉각적 코팅 상태 확인⊙ 최적의 위치 지저을 위한 조정 가능한 샘플 높이⊙ 최대 19개의 샘플 홀더를 수용하는 넓은 챔버⊙ 내장된 불활성 가스 주입 포트로 다양한 코팅 대상 가능⊙ 고전압 사고 방지 및 펌프 역류 방지를위한 이중 안전 인터록과 완전한 자동화 작업범주내용물진공도 1.0 ~ 2.5 x 10-1 토르 이온 전류 10 ~ 70mA 대상 물질 Au 또는 Pt 챔버 크기 Φ110mm x 90mm(높이) 샘플 단계 Φ90mm x 35mm(높이)높이 조절 가능 0 ~ 15mm 대상 크기 Φ57mm x 0.1t 스퍼터 타임 90 ~ 300초 (1초 / 단계) 진공 펌프 142L / 분, 로터리 펌프 차원 본체 : 210(W) x 305(L) x 270(H) mm, 8kg 로터리 펌프 : 338(W) x 138(D) x 244(H) mm, 10.4kg Glove Box⊙ 글러브 박스와 통합된 SEM으로 이차 전지와 같은민감한 부품을 포함한 첨단 소재 연구에 최적화⊙ 글러브 박스 인클로저로 필요한 구역만분리하여 공간과 비용 효율성을 극대화⊙ 준비부터 분석까지 모든 것이 Glove Box 내부에서샘플 이동 필요 없이 안전한 분석 환경 제공⊙ 향상된 유연성으로 독립적으로 작동하거나기존 글러브 박스 시스템과 원활하게 통합 가능⊙ 간편한 유지 관리 및 간소화된 운영 가능모델Glove Box메인 챔버 재질 : 스테인레스 스틸(SUS-304), 2T 치수 : 490(W) * 350*(D) * 520(H) mm 창 : 아크릴, 462(W) * 323(D) mm, 4.5T 글러브 포트 및 포트 캡 : 아세탈, Φ160 * 2개 글러브 : 천연 고무 라텍스, 1쌍 작동 시스템, 퍼징(아르곤 또는 질소)에 의한 가스 교환, 수동 압력 조절 램프 : 24V 7W LED안테 챔버 재질 : 스테인리스 스틸(SUS-30) 및 아세탈, 4T 치수 : Φ96 * 155 mm 도어 : 알루미늄, 10T 이전글SEM 부가 악세사리 25.07.23 다음글BSED 25.07.22
